ข่าว บริษัทจีนสร้างเครื่องจักรผลิตชิปแบบ DUV สำเร็จด้วยตัวเอง ความละเอียดวงจร 65nm

[News]

กระทรวงอุตสาหกรรมและเทคโนโลยีสารสนเทศจีน (Ministry of Industry and Information Technology - MIIT) ประกาศความก้าวหน้าของอุตสาหกรรมผลิตชิปในประเทศว่าสามารถผลิตเครื่องจักรแบบ deep ultraviolet (DUV) ในประเทศได้แล้ว โดยไม่เปิดเผยชื่อบริษัทที่ผลิตเครื่องจักรนี้

เครื่อง DUV นี้ใช้แสงความยาวคลื่น 193nm สามารถวาดลายวงจรละเอียด 65nm พร้อมความแม่นยำในการทำชั้น (overlay accuracy) ที่ 8nm นับเป็นอีกก้าวของการสร้างความสามารถในการผลิตชิปโดยไม่พึ่งเทคโนโลยีตะวันตก

เทคโนโลยีนี้ยังห่างจากเทคโนโลยีล่าสุดพอสมควร โดยเครื่อง TWINSCAN EXE:5000 ของ ASML นั้นใช้ความยาวคลื่น 13.5nm สามารถวาดลายวงจรได้ละเอียดถึง 8nm หรือหากเทียบกับเครื่อง DUV ของ ASML รุ่นล่าสุด TWINSCAN NXT:2100i ก็วาดลายวงจรได้ละเอียดถึง 38nm

เครื่องจักรผลิตชิปเทคโนโลยีสูงในจีนยังคงเป็นเครื่องต่างชาติแทบทั้งหมด แต่รัฐบาลจีนก็ทุ่มทุนต่อนเนื่องให้บริษัทในประเทศสามารถพัฒนาเครื่องจักรขึ้นมาใช้งานเองได้ เนื่องจากแรงบีบจากสหรัฐฯ นั้นมากขึ้นเรื่่อยๆ

ที่มา - South China Morning Post

ภาพ Pixabay

Topics:
China
Semiconductor

Continue reading...